特徴
- 高純度・清浄な状態で圧縮が可能
- 圧縮機外部に対してリーク（漏洩）がない密閉構造
- 1段階毎に高圧縮比での圧縮が可能（最大圧縮比：15倍）
- 超高圧対応（～300MPa）
- ダイアフラム破損検知システムにより、ダイアフラム破損等の異常事態に対応
- 【適用流体】
- 水素、窒素、酸素
- 一酸化炭素、二酸化炭素、一酸化窒素
- アンモニア、ホスフィン
- 三フッ化ホウ素、フッ素ガス、フッ化水素酸
- 塩酸（ドライ）、塩素（ドライ）、硫化水素
- 六フッ化硫黄、モノシラン、テトラフルオロシラン
- 天然ガス、メタン、メタノール、エチレン、エタン
- ヘキサン、プロパン、プロピレン、シクロヘキサン
- 塩化ビニリデン、トリフルオロメタン、ハイドロカーボン
- ヘリウム、アルゴン、クリプトン、キセノン、ネオン
- その他混合ガスも多数実績あり