希ガス回収・リサイクルシステム
導入事例概要
写真はアトマイザー装置で消費される希ガス(アルゴンガス)を回収し、精製・再加圧をして再びアトマイザー装置に供給する希ガスのリサイクルシステムである。ガスの純度を保つため、外気をガスラインに巻き込まない機構を設けた三國重工製Y型レシプロ圧縮機でガスをリサイクルする。
適正なマスバランス・圧力バランス制御をする事によって必要最低限のアルゴンガスのみ消費する。本システムの導入により、希ガスの消費量は激減した。
写真はアトマイザー装置で消費される希ガス(アルゴンガス)を回収し、精製・再加圧をして再びアトマイザー装置に供給する希ガスのリサイクルシステムである。ガスの純度を保つため、外気をガスラインに巻き込まない機構を設けた三國重工製Y型レシプロ圧縮機でガスをリサイクルする。
適正なマスバランス・圧力バランス制御をする事によって必要最低限のアルゴンガスのみ消費する。本システムの導入により、希ガスの消費量は激減した。
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